Görüntüleme
5
Bu çalışmada, 20 nm ve 80 nm kalınlığa sahip iki adet altın/paladyum (Au/Pd) ince film, eş zamanlı olarak radyo frekans (RF) magnetron sıçratma tekniği ile hedef-alttaş mesafesinin ayarlanmasıyla cam alttaşlar üzerinde biriktirilmiştir. Üretilen ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri UV-VIS spektrofotometre, interferometre, tansiyometre ve atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir. Film kalınlığının, ince filmlerin incelenen özellikleri üzerindeki etkileri rapor edilmektedir.
In this study, two gold/palladium (Au/Pd) thin films having 20 nm and 80 nm thickness values were simultaneously deposited on glass substrates by adjusting target-substrate distance via radio frequency (RF) magnetron sputtering technique. The optical and surface properties of the produced thin films were investigated by using UV-VIS spectrophotometer, interferometer, tensiometer and atomic force microscope. The effects of film thickness on the investigated properties of the thin films were reported.
Dergi Türü : Uluslararası
Makale Detay 
Benzer Makaleler
PDF Görüntüle
Dergi Bilgisi
Eseri Dinleyin
Alıntı Yap
Bu Sayfayı Yazdırın
Paylaş
Mendeley
