Özet:

Malzemelerin yüzey özelliklerinin değiştirilmesi ile elde edilen ürünlere kendi özelliklerinin yanında farklı işlevsellikler kazandırılabilmektedir. Yüzey teknolojilerindeki gelişmeler yeni ürünlerin eldesini ve üretim süreçlerinin gelişmesini de sağlamaktadır. ALD yöntemi çok farklı uygulama alanlarında başarı ile uygulanma potansiyeline sahiptir. Global ALD endüstrisi market araştırmaları 2017-2025 yılları arasında yıllık %12’lik büyüme öngörmektedir. Bu makalede ince film biriktirme tekniklerinden biri olan atomik katman biriktirme (ALD) yönteminde kullanılan cihazların tarihsel gelişimi ve gelişen ALD çeşitleri incelenmiştir. Çalışma genel ALD çeşitlerinin yanında doğrudan yazmalı (Direct write) ve rulodan ruloya (Roll to roll) gibi yeni ALD çeşitleri hakkında bilgi vermektedir. 

Anahtar Kelimeler: