Kullanım Kılavuzu
Neden sadece 3 sonuç görüntüleyebiliyorum?
Sadece üye olan kurumların ağından bağlandığınız da tüm sonuçları görüntüleyebilirsiniz. Üye olmayan kurumlar için kurum yetkililerinin başvurması durumunda 1 aylık ücretsiz deneme sürümü açmaktayız.
Benim olmayan çok sonuç geliyor?
Birçok kaynakça da atıflar "Soyad, İ" olarak gösterildiği için özellikle Soyad ve isminin baş harfi aynı olan akademisyenlerin atıfları zaman zaman karışabilmektedir. Bu sorun tüm dünyadaki atıf dizinlerinin sıkça karşılaştığı bir sorundur.
Sadece ilgili makaleme yapılan atıfları nasıl görebilirim?
Makalenizin ismini arattıktan sonra detaylar kısmına bastığınız anda seçtiğiniz makaleye yapılan atıfları görebilirsiniz.
 Görüntüleme 2
 İndirme 2
Effect of Development Time on Polymer Phase Separation in a PMMA Resist
2004
Dergi:  
Turkish Journal of Physics
Yazar:  
Özet:

Developer composition type and development technique are known to influence surface and edge roughness in polymethylemethacrylate (PMMA); and it is during development, we believe, that the result is most influenced by the phase separation into polymer-rich and polymer-poor regions. This polymer phase separation is more prominent in a weaker developer and low temperature. In this paper, we investigate the effect of development time on the extent of polymer phase separation in an exposed PMMA developed in a standard developer i.e. 1:3 MIBK:IPA at 20 °C and rinsed in pure IPA for 30 sec. The polymer phase separation is found to increase with the development time.

Anahtar Kelimeler:

Atıf Yapanlar
Bilgi: Bu yayına herhangi bir atıf yapılmamıştır.
Benzer Makaleler










Turkish Journal of Physics

Alan :   Fen Bilimleri ve Matematik

Dergi Türü :   Uluslararası

Metrikler
Makale : 1.313
Atıf : 223
Turkish Journal of Physics