Atıf Sayısı
2
Görüntüleme
10
İndirme
5
Kalınlığı 75 nm olan tantal penta oksit (Ta2O5) ince film kondansatör Sol-Gel döner kaplama işlemi ile Corning cam taşıyıcılar üzerinde elde edildi ve film kondansatörün dielektrik sabiti ε¢, dielektrik kayıp faktörü ε² ve AC iletkenlik davranışı 293–193 K sıcaklık aralığında, 10 Hz–100 kHz frekans değerlerine bağlı olarak incelendi. Ta2O5 ince film kondansatörün dielektrik sabiti ε¢, azalan sıcaklıkla 1 kHz değeri için, 293–193 K aralığında 15 ila 7 değerlerinde bulundu. Dielektrik sabiti ε¢ ve dielektrik kayıp ε² nün azalan sıcaklık ve frekans değerleri ile azalmakta olduğu belirlendi. Maksimum engel yüksekliği Wm, farklı sıcaklıklarda dielektrik kayıp faktörü ε" nün frekansa bağlılığından hesaplandı ve değeri sırasıyla 10 Hz–2 kHz ve 2 kHz–12 kHz frekans aralığı için 0,14 eV ve 0,093 eV olarak bulundu. Bu tip dielektrik özellikler taşıyıcı zıplama, yüzeylerarası ve dipolar polarizasyon mekanizmaları ile ilişkilendirildi. Ta2O5 ince film kondansatörün AC iletkenliğinin sıcaklığa bağlılığının yüksek frekans bölgesinden çok düşük, frekans bölgesine bağlı olduğu bulundu. AC iletkenliğin sıcaklığa bağlılığının engel üzerinden zıplamayla ilişkilendirilmiş (CBH) modeli ile uyumlu olduğu belirlendi.
The thickness of 75 nm of tantal penta oxide (Ta2O5) was obtained on the corning glass carriers with the thin film condensator left-gel rotating covering process and the film condensator's dielectrial stability ε¢, dielectrial loss factor ε2 and AC conductivity behavior were studied depending on the frequency values of 10 Hz-100 kHz in the temperature range of 293-193 K. Ta2O5 thin film condensator's dielectrial stability ε¢ was found at 15 to 7 values in the range of 293-193 K for the value of 1 kHz at a decreased temperature. Dielectric stability ε¢ and dielectric loss ε2 were determined to decrease with decreased temperature and frequency values. The maximum block height Wm was calculated from the frequency dependence of the dielectrial loss factor ε" at different temperatures, and the value was found as 0.14 eV and 0.093 eV for the frequency range of 10 Hz-2 kHz and 2 kHz-12 kHz respectively. This type of dielectrial characteristics were associated with the carrier jumping, inter surface and dipolar polarization mechanisms. The Ta2O5 thin film condensator found that the AC conductivity of the temperature bond is very low than the high-frequency area, connected to the frequency area. It was determined that AC conductivity's temperature bond is compatible with the jump-related (CBH) model over the barrier.
Alan : Mühendislik
Dergi Türü : Ulusal
Makale Detay 
Atıf Yapanlar
Benzer Makaleler
Dergi Bilgisi
Eseri Dinleyin
Bu Sayfayı Yazdırın
Paylaş
Mendeley
