Kullanım Kılavuzu
Neden sadece 3 sonuç görüntüleyebiliyorum?
Sadece üye olan kurumların ağından bağlandığınız da tüm sonuçları görüntüleyebilirsiniz. Üye olmayan kurumlar için kurum yetkililerinin başvurması durumunda 1 aylık ücretsiz deneme sürümü açmaktayız.
Benim olmayan çok sonuç geliyor?
Birçok kaynakça da atıflar "Soyad, İ" olarak gösterildiği için özellikle Soyad ve isminin baş harfi aynı olan akademisyenlerin atıfları zaman zaman karışabilmektedir. Bu sorun tüm dünyadaki atıf dizinlerinin sıkça karşılaştığı bir sorundur.
Sadece ilgili makaleme yapılan atıfları nasıl görebilirim?
Makalenizin ismini arattıktan sonra detaylar kısmına bastığınız anda seçtiğiniz makaleye yapılan atıfları görebilirsiniz.
Kurumsal Referanslarımız SED Quartile İstatistik S.S.S. Kullanım Kılavuzu Bize Ulaşın
Kurumsal Başvuru Dergi Başvurusu
Türkçe English
 ASOS INDEKS
 Görüntüleme 7
Menü
Mendeley
Endnote
Thermaly mechanisms in electrostaticaly actuated microelectromechanical structures
2008
Dergi:  
Journal of Vibroengineering
Yazar:  
Özet:

The paper reports results of the performed research work related to the deformations and stability of Al-Si parallel-plate electrostatic microactutors fabricated on silicon-on-insulator (SOI) wafer and subjected to uniform temperature changes. Presented research includes measurements of the deformation of Si beam with deposited Al thin-film microstructures as a function of temperature changes using Electronics Speckle Pattern Interferometry (ESPI) and a custom-built thermal module that is covered by optical beam splitter window to allow optical access

Anahtar Kelimeler:

Atıf Yapanlar
Bilgi: Bu yayına herhangi bir atıf yapılmamıştır.
Benzer Makaleler
1. The influence of vibroacoustics on Self-organizing of Sige nanostructures onto silicon substrate
2008


  Detaylar
 PDF Görüntüle
2. Nonlinear resonances of electrostatically actuated nano-beam
2014


  Detaylar
 PDF Görüntüle
3. Phytoindication spatio-temporal structures tehnozemov and endogenous mechanisms of sustainable functioning of anthropogenic soil-like bodies
2018


  Detaylar
 PDF Görüntüle
4. Piezo-actuated common rail injector structure and efficient design
2018


  Detaylar
 PDF Görüntüle
5. Dynamics simulation of microelectromechanical electrostatic actuator incorporating the squeeze-film damping effect
2017


  Detaylar
 PDF Görüntüle
6. Analysis of holographic interferogram of microelectromechanical system with non harmonic cycles excitation
2008


  Detaylar
 PDF Görüntüle
Journal of Vibroengineering

Dergi Türü :   Uluslararası

Detaylı İncele
Journal of Vibroengineering