Citation Number
2
Views
21
İmalat teknolojisindeki gelişmeler neticesinde ortaya çıkan mikro ve nano elektromekanik sistemler (MEMS ve NEMS) biyosensörler, aktüatörler ve atomik kuvvet mikroskopları (AKM) gibi mikro ve nano yapıya sahip sistemlerde çok yaygın olarak kullanılmaktadır. NEMS ve MEMS’ de kiriş veya benzeri elemanlar ve yapılar bulunmaktadır. Bu elemanlar sabit kesitli olduğu gibi değişken kesitlere de sahip olabilmektedirler. Söz konusu sistemler içindeki kiriş elemanların statik ve dinamik davranış karakterlerinin bilinmesi çok önemlidir. Çünkü sistemin sorunsuz çalışması için ihtiyaç duyulan çalışma frekansının, tasarlanan sistemin doğal frekansı ile aynı olmaması gerekmektedir. Bu nedenden dolayı mikro ve nano elemanların serbest titreşim analizlerinin yapılması sorunsuz bir tasarım için hayati önem taşımaktadır. Bu kapsamda, ortadan mesnetli mikro kirişin titreşim analizleri yapılmıştır. Mikro kiriş seramik özellikte olup elektrik alan içerisine yerleştirilmiş ve mesnetlerin pozisyonları değiştirilerek titreşim karakterleri incelenmiştir. Hareket denklemleri modifiye gerilme çifti teorisi kullanılarak Hamilton metoduna göre elde edilmiştir. Hareket denklemi, pertürbasyon metotlarından biri olan çok zaman ölçekli metot ile çözümü elde edilmiştir. Doğal frekanslar ve mod şekilleri, boyutsuz parametreler mesnet konumu, gerilme katsayısı ve mikrokirişlik katsayısına bağlı olarak elde edilmiştir.
Micro and nano electromechanical systems (MEMS and NEMS) that arise as a result of the developments in manufacturing technology are widely used in micro and nano structural systems such as biosensors, actors and atomic power microscopes (AKMs). In NEMS and MEMS there are curve or similar elements and structures. These elements may also have variable cuts as fixed cuts. It is very important to know the static and dynamic behavior characteristics of the curve elements within the systems concerned. Because the work frequency required for the system to work without problems should not be the same as the natural frequency of the designed system. For this reason, the free vibration analysis of micro and nano elements is vital for a problem-free design. In this scope, the vibration analysis of the disappearance of the microcircuit has been done. The microcircuit is in ceramic characteristics and is placed within the electric field and the positions of the mesnets are changed and the vibration characteristics are studied. Movement equations were obtained according to Hamilton’s method using the modified twist theory. Movement equation is achieved with a long-scale method, which is one of the methods of perturbation. Natural frequencies and mode shapes, non-dimensional parameters are obtained depending on the mesnet position, the voltage rate and the microcirculation rate.
Field : Mimarlık, Planlama ve Tasarım; Mühendislik
Journal Type : Uluslararası
Article Detail 
Citation Owners
Similar Articles
Download PDF
Journal Information
Listen Paper
Print This Page
Share
Mendeley
